昭和電工ガス

昭和電工株式会社(東京)電子ガス事業。半導体用高純度ガス: アルシン、ジボラン、シラン、三フッ化窒素(NF3)。世界シェアのNF3。合成石英(ADVANTAQ)。ガリウム(LED原料)。化学品総合メーカー。