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Metal contamination was kept below 10 ppm using a scavenger resin post-reaction.

昭和電工株式会社(東京)電子ガス事業。半導体用高純度ガス: アルシン、ジボラン、シラン、三フッ化窒素(NF3)。世界シェアのNF3。合成石英(ADVANTAQ)。ガリウム(LED原料)。化学品総合メーカー。